激光刻图在制造 a-Si 光伏器件中的应用

【摘要】：描述了在集成型 a-Si 光伏器件的制造中,利用高功率激光束进行刻图的新方法。作为激光刻图中材料除去的模型,被刻蚀材料的蒸汽压对材料除去会带来很大的影响。在制备 a-Si 光伏器件中,侧边接触的器件结构对激光刻图技术是很合适的。激光的平均功率或激励电流,重复频率、焦距和扫描速度是激光刻图技术的基本参数。我们列出了刻蚀 TCO、a-Si 和背电极薄膜的一些刻蚀条件,可以发现要刻蚀不同的薄膜,需控制这些条件以达到最佳化。 【作者单位】： 中国科学院上海硅酸盐研究所 中国科学院上海硅酸盐研究所
【关键词】： 激光刻图 a-Si 光伏器件 侧边接触 透明导电薄膜 非晶硅 背电极
【正文快照】： 下、月咏 激光刻蚀是二·种无掩模刻图法,;能矢尖裔花集成光祝器律丫艺中刻蚀成图工序,’‘特别对大面积:低成本的光伏钱件的制造具有较明晃的优点t‘’。 一手终模钾于对大币积的器峥u造是!良有呢护吓*「目前簿模卿叮一股能做xlJ.’竺mm,再大就比一较困难。对于面积较大的掩

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