EACVD中基片表面电子及氢原子能量分布(英文)

【摘要】：采用MonteCarlo方法 ,模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型 ,给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布 .结果对EACVD淀积金刚石薄膜的研究有重要意义 . 【作者单位】： 河北大学物理科学与技术学院 河北大学物理科学与技术学院 河北大学物理科学与技术学院
【关键词】： 蒙特卡罗模拟 化学气相沉积 氢分解
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 1　ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｈｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆｌｏｗ ｐｒｅｓｓｕｒｅｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ (ＣＶＤ )ｏｆｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｄｉａｍｏｎｄｆｉｌｍｓｈａｓａｄｖａｎｃｅｄｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙｉｎｒｅｃ

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