非晶硅太阳能电池

【摘要】：正 日本工业科学与技术局的龟工实验室,用感应辉光放电法研制了一种含氢非晶硅薄膜太阳能电池。用此方法制得的非晶硅氢薄膜的性质与组成、气氛气体的压力和流速、高频放电电流的电压以及硅原子沉积的衬底温度有关。 该实验室还研究溅射法和辉光放电法。在最佳条件下制得的薄膜,其光电导(波长6328埃,光强300微瓦/厘米~2)约10~(-6)—10~(-4)欧姆~(-1)厘米~(-1)。 非晶硅中引入氢,除增加光敏性而外,还可以 【关键词】： 硅太阳能电池 非晶硅 辉光放电法 高频放电 光敏性 最佳条件 科学与技术 光电导 实验室 衬底温度
【正文快照】： 日本工业科学与技术局的电工实验室,用感应辉光放电法研制了一种含氢非晶硅薄膜太阳能电池。用此方法制得的非晶硅氢薄膜的性质与组成、气氛气体的压力和流速、高频放电电流的电压以及硅原子沉积的衬底温度有关。 该实验室还研究溅射法和辉光放电法。在最佳条件下制得的薄膜,

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