激光技术制作硅太阳能电池的现状和展望

【摘要】：本文概述了激光技术制作太阳能电池的发展状况,对离子注入和沉积掺杂硅太阳能电池的激光退火与热退火作了比较,激光退火离子注入Si太阳能电池转换效率达16.6％(AMI),激光退火沉积在Si片上的Al和Sb膜制得的太阳能电池转换效率达到14.3％(AMI),沉积法制作的电池具有成本低和易于制作等优点,这种技术简单,在大规模生产太阳能电池时将得到广泛的应用。 【作者单位】：
【关键词】： 激光退火 硅太阳能电池 离子注入硅 热退火 技术制作 激光能量密度 掺杂剂 红宝石激光器 半导体器件 载流子浓度
【正文快照】： 引言 自从1975年苏联首先将激光技术应用于激光退火消除离子注入硅中的缺陷被报导以来〔‘、2〕,引起了许多实验室、科技工作者的极大重视,首先在贝尔实验室和橡树岭困家实验室开始了这项研究工作,此后,美国的许多其他实验室相继开展了激光技术应用于半导体工业的研究,包括斯

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

金属材料的激光表面改性及其在摩擦学中的应用    杨德华,张绪寿

激光碳氮硼共渗对金属表面性能的影响    郑克全,张思玉

激光表面熔化处理    张思玉 ,郑克全

NiCrSiB合金的激光熔敷    杨洗陈,阎毓禾,汪行恺,顾洪武

气体碳氮硼三元共渗渗层的组成及其强化机理的探讨    王天民 ,晏国洪 ,沈明智 ,王雅儒

润滑油添加剂对激光改性球墨铸铁抗磨性能的影响    夏延秋 ,刘维民 ,薛群基 ,林子光

激光强化金属材料表面工艺规范问题    张三川,徐祖意

碳钢表面氮硼激光合金化的研究    张思玉;郑克全;郑立;

激光熔覆硬质合金WC－TiN－Co特性的研究    郑立, 张思玉，郑克全

激光熔覆硬质合金WC－SiC－Co性能的研究    张思玉，郑克全, 郑立

扫描速度对激光熔覆WC-B_4C-Co涂层显微组织和性能的影响    张思玉,郑克全,郑立

激光淬火45~#钢在磷酸胺盐润滑下的摩擦磨损性能研究    夏延秋;韩宁;刘维民;张泽抚;薛群基;王存山;李刚;

半导体的激光退火    吴乐琦

激光退火产生磁泡    许少龙

激光处理半导体    杜金波;

硅太阳能电池在无人地震台上的使用    上海市地震局台网仪器组

非晶态硅太阳能电池的器件物理    Richard Williams

激光退火对多晶硅结构和电学性能的影响    王阳元,张国柄,徐瑶,李宝环

a-Si_XC_(1-X)∶H薄膜的制备及其特性的研究    兰州大学非晶半导体科研组

激光技术在硅太阳能电池工艺中的应用    臧友松,明长江,刘跃田

现在美国的太阳能电池的研究和发展    A.W.Blakers;M.A.Green;M.R.Willison;史济群;

激光退火的机理    刘世祥,朱美芳,姚德成,石万全

太阳电池烧穿工艺对氮化硅薄膜的光学性质的影响    周之斌;赵占霞;陈凤祥;古丽娜;孟凡英;崔容强;

KDP晶体的相变温度与晶体的完整性研究    王圣来;房昌水;高樟寿;王波;刘冰;牟晓明;李毅平;孙洵;顾庆天;

国内最大的太阳能电池基地在建    

我国建设国内规模最大的太阳能开发生产基地    徐文

世界最先进的太阳能电池生产线落户保定    记者 林英

我国太阳能电池研究获突破    蒋宏 刘军

有机太阳能电池问世    

多晶硅太阳能电池开始产业化    

多晶硅太阳能电池开始产业化    记者　林　英　通讯员　王娅妮

重点高科技产业化项目“多晶硅太阳能电池”在保定落槌    记者 孙文娟 巍子

我国多晶硅太阳能电池应用研究走上快速路    记者 王学健

九类电子材料发展评析及需求预测    中国电子材料行业协会 理事长管丕恺 理事长张臣

低温多晶硅材料及其器件的研究    刘传珍

高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制    李牧菊

高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计    黄金英

低温液相法制备三元硫属半导体薄膜的研究    石勇

激光烧蚀沉积硅基纳米材料及其特性研究    杜会静

纳米碳化硅的脉冲激光烧蚀沉积及其光学特性研究    孙运涛

铸造多晶硅材料中氧缺陷的研究    俞征峰

酞菁敏化纳米晶光电极的制备及性能研究    宋文哲

稀土有机配合物掺杂凝胶薄膜的制备及其发光性能研究    李伟

Yb：Er共掺Al_2O_3光波导放大器制备工艺及非均匀掺铒光波导理论设计    宋琦

快速热处理在太阳电池中的应用    花聚团

太阳能电池阵列模拟器的研究与设计    韩珏

低温工艺PECVD法制备多晶硅薄膜研究    王生钊

可并网正弦波PWM高效光伏逆变器的研究（DC-AC部分）    苗骞