非晶硅薄膜太阳能电池结构中本征膜的初步研究

【摘要】：本文介绍在近代物理实验室现有设备的基础上,利用等离子刻蚀机改装为成膜主机,用射频辉光放电方法制备了本征非晶硅膜,并利用激光喇曼光谱仪等设备进行了初步分析。 【关键词】： 非晶硅 本征膜
【正文快照】： 引’‘·言 ’非晶态物理是当前物理学研究的一个重要方向,是凝聚态物理的一个十分活跃的前沿领域,·并成为材料科学的重要分支之一。非晶态物理中的非晶态半导体的研究目前特别引起人们的重视,各国都以非晶硅薄膜太阳能电池的研究做为突破点。尽管R .C.Chilli。k等人于1969

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