AZO-SiO_2-Si材料中二维侧向光伏效应的研究【摘要】：采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜,再经过真空烘干后制成AZO-Si O2-Si金属氧化物