有害气体的抽除与清洁真空的获得

【摘要】：本文主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法。 【作者单位】：东北大学真空与流体研究中心 东北大学真空与流体研究中心 东北大学真空与流体研究中心 东北大学真空与流体研究中心
【分类号】：TB751
【正文快照】： 1概论 在近几十年来工业上应用的高真空系统,多以油扩散泵为主泵、油封式机械泵为前级泵组成的通用型的高真空系统,并得到了许多工业部门的普遍应用。 但就油封式机械泵而言,规定它只能在环境温度5一40℃范围内使用。这种泵对于抽除含氧过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

干式真空泵的原理、特征及其应用    杨乃恒

密闭容器自动干式检漏法    

滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组    谈治信

罗茨泵主要性能指标与转子型线加工误差    金建华,王西龙,陈顺良

罗茨滑阀机组的节能效果及其分析    郭惠新

干式输出的连续精滤器    Gerd Schachtebeck,Carlos Demmerle

油封罗茨泵作粗真空泵的试验    周宝洪

罗茨真空泵的应用    李光玲，曾繁慧

三级罗茨泵直腰茧形转子型线的研究    杨常青

UG 软件在罗茨真空泵中的应用    张健

有害气体的抽除与清洁真空的获得    杨乃恒;巴德纯;王晓冬;于治明;

连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究    龚建华;段献学;张永胜;贾庆云;

防污染真空抽气系统    许涛;罗根松;王再恩;郑慧萍;

21世纪真空获得技术的展望    姜燮昌;

21世纪真空获得技术的展望    姜燮昌;

真空获得设备产品和技术进展趋势    李春影;

几种干式螺杆真空泵转子型线特性的研究    刘春姐;徐成海;张世伟;

干式螺杆真空泵接触线长度的计算    刘春姐;徐成海;张世伟;关奎之;

机械工艺过程对罗茨真空泵性能的影响    陈仙春;王琴斐;杨华飞;

28吨真空吹氧精练VOD炉机械真空泵抽气系统    张宝夫;

电晕处理设备在干式复合机上的应用    陈全东

废旧纸张干式模压联运通用平托盘    

干式复合溶剂残留的主要影响因素及控制    马平东

利用物理溶解技术制作绿色纤维素包装膜    高珊珊 王建清

建材中的纳米材料（下）    中国建材科学研究院教授级高工 王世忠

PET瓶装敏感性饮料的无菌灌装    记者 陈蕾

杭机新产品成功应用于罗茨真空泵行业    姚峻　范炳忠

4项覆膜国家标准审查会议在京召开    李安

多重牵引分子泵的的性能测试及其应用    王雅婷

全膜高压电容器真空浸渍工艺及设备研究    张永胜

小型太阳能吸收式空调发生器与增压器的研究    刘付伟

硅基氧化钨薄膜的制备及其性质研究    卢振伟

特殊真空系统的监控开发    徐化冰

适用于SiC薄膜生长的RTCVD装置及工艺探索    马宝山

双向旋转枞树型槽干式气体端面密封的性能研究    马媛媛

干式气体端面密封仿生设计的基础研究    呼延晨龙