提高太阳能集热管磁控溅射镀膜沉积速率的研究

【摘要】：工业上用磁控溅射技术为太阳能集热管制备Al-N/Al选择性吸收涂层,这种吸收涂层最外层为AlN介质减反层。在开环N2流量控制模式下,存在溅射制备AlN介质减反层沉积速率低的缺点。本文依据气相化学反应动力学理论,薄膜的沉积率正比于反应气体的浓度,提出了一种提高制备AlN陶瓷减反层沉积速率的方法。该方法将直流溅射靶电压反馈至模糊控制器,控制N2流量大小,让磁控溅射镀膜机稳定工作在拐点电压附近,实现反应溅射恒电压控制。并且采用单片机技术制作了样机,在SCS-700A型太阳能集热管镀膜机中使用,实验结果表明,镀膜沉积速率提高了4倍以上,整个系统工作稳定。 【作者单位】： 南华大学电气工程学院;南华大学数理学院;衡阳市真空机电设备有限公司;
【关键词】： 磁控溅射 太阳能集热管 选择性吸收涂层 沉积速率 镀膜 模糊控制 恒电压控制
【基金】：科技部中小企业创新基金(No.07C26214301755)
【分类号】：TN305.92
【正文快照】： 太阳能是可再生的清洁能源,人类在不断研究它的利用方式,特别是在全球环境变暖的大环境下,这一问题变得更加突出。目前我国太阳能光热利用主要是通过全真空玻璃集热管把太阳能转换为热能形式加以直接利用,其中真空集热管是重要的一种太阳能光热利用部件。制备符合国家标准GB/T

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