IETS谱作为真空镀膜系统清洁度的检测手段

【摘要】：本文通过未掺杂质Al-Al_2O_3-Pb隧道结的IETS谱测量以及机工泵油和扩散泵油的红外吸收光谱测量及其它们的结果作相互比较表明,在普通油扩散泵高真空镀膜系统中,样品表面的主要污染来源于泵油. 【作者单位】： 复旦大学物理系、现代物理研究所
【关键词】： 清洁度 膜系统 真空镀 检测手段 隧道结 扩散泵油 红外光谱 真空系统 油扩散泵 掩膜板
【基金】：中国科学院科学基金
【正文快照】： 一已l言 、、夕..一月 当使用一个真空系统制备样品或研究样品性质的时候,人们往往关注系统本身对样品造成的沾污.因为,污染杂质的存在会影响样品的特性.特别在研究那些与表面及界面有关的性质时,杂质吸附分子的存在是最不希望的.一个包括油扩散泵和机械泵的普通真空镀膜系统

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