AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用

【摘要】：采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响。研究发现,在较低沉积温度和较大溅射压强条件下,样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌,有利于提高电池性能;而溅射功率增加,虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度,但雾度的增加则呈现饱和趋势。将具有优良光电性能、不同雾度的AZO薄膜作为前电极制备非晶/微晶硅薄膜双结太阳能电池,发现雾度越大,电池的短路电流密度越大,特别是底电池电流密度越大,从而电池的光电转换效率也获得提高。这一发现有助于通过优化溅射工艺参数来改进AZO薄膜表面形貌和电池性能。 【作者单位】： 新奥光伏能源有限公司;
【关键词】： 掺铝氧化锌薄膜 磁控溅射 粗糙度 短路电流密度
【分类号】：O484.1
【正文快照】： 1引言透明导电氧化物薄膜具有禁带宽度大和导电性好的特性,并且在可见光波长范围内具有良好的透过率,已在硅基薄膜太阳能电池领域得到了广泛关注、研究和应用。目前,掺氟氧化锡透明导电薄膜(FTO)作为前电极制作的硅基薄膜太阳能电池,已形成产业化生产;掺铝氧化锌透明导电薄膜(

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