应用于太阳能电池的AZO透明导电薄膜光学性质研究

【摘要】：以铝掺杂氧化锌陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,利用全光谱拟合法计算了AZO薄膜的光学常数和厚度,研究了厚度对AZO薄膜光学性质的影响.结果表明:拟合光谱曲线与实测光谱曲线一致,薄膜的光学性能与厚度密切相关,AZO薄膜折射率表现为正常的色散特性.另外还采用包络法计算了AZO薄膜的折射率和厚度,两种方法所得结果基本相符. 【作者单位】： 中南民族大学电子信息工程学院;
【关键词】： 掺铝氧化锌 透明导电薄膜 光学常数
【基金】：湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418) 中南民族大学研究生创新基金资助项目(chxxyz120023) 中南民族大学学术团队基金资助项目(XTZ09003)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射实现光电转换的半导体器件,它是新一代的清洁可再生能源,随着全球能源危机的突显和人类环保意识的普及,它已成为该领域研究的热点之一.太阳能电池的典型结构为透明导电阳极/光敏层/金属阴极,通常情况下人们普遍使用铟锡氧化物(ITO)透明导电玻

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

磁控溅射沉积掺锡氧化铟透明导电薄膜的光电性能研究    钟志有;张腾;顾锦华;孙奉娄;

溅射功率对钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜光电性能的影响    张腾;钟志有;汪浩;

确定薄膜厚度和光学常数的一种新方法    沈伟东,刘旭,叶辉,顾培夫

薄膜厚度和光学常数的主要测试方法    陈燕平;余飞鸿;

基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO_2薄膜的光学常数    梁丽萍;郝建英;秦梅;郑建军;

真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响    顾锦华;钟志有;何翔;孙奉娄;

有机太阳能电池无铟透明电极的光电性能研究    钟志有;顾锦华;何翔;孙奉娄;陈首部;

有机聚合物太阳电池电极的表面性能研究    钟志有;顾锦华;何翔;孙奉娄;陈首部;

热处理对活性层性质及有机光伏电池性能的影响    钟志有;顾锦华;孙奉娄;何翔;陈首部;

退火温度对TiO_2薄膜结构和光学性能的影响    刘佳;朱昌;

反应磁控溅射法制备二氧化硅薄膜的研究    朱春燕;王稳奇;郗华;

SiO_2/TiO_2变折射率光学薄膜制造技术研究    宁晓阳;杭凌侠;郭峰;潘永强;

可见光范围镀铝反射率的研究    王禹皓;李春;付秀华;常艳贺;李珊;

动态显示增透膜的“增透”特性    郭军;

镀膜机控制系统原理及电路故障分析方法    陈晓东;王磊;何方;宋健;

掺铝ZnO透明导电薄膜的制备及光电性能研究    曾令宏;韦世良;钟志有;顾锦华;

基于溶胶-凝胶法的ITO透光导电膜制备    刘杰;杨斌;

遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中的应用    陈凯;崔明启;郑雷;赵屹东;

氢化纳米硅薄膜的椭偏表征    沈燕龙;张维佳;赵而敬;张静;杨东杰;林军;亚克;

薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究    赵升林;孙龙;

硅碳氧薄膜光学性能研究    李晨;陈焘;王多书;张平;

1064nm激光减反膜的研究    王一坚;刘凤玉;套格套;

光学膜厚宽带监控关键技术研究    韩军

铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究    尹伊

纳米硅薄膜太阳电池优化研究    郭立强

基于MOEMS技术的光学调制器研究    沈伟东

真空紫外反射膜特性及相关技术研究    干蜀毅

利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性    刘汉平

反射聚光利用太阳能的基础理论与实验研究    江守利

AZO透明导电氧化物靶材及其薄膜制备的研究    孙宜华

微结构热辐射光谱控制特性及其应用研究    刘广平

光电测距仪室内长基线建立方法研究    杨维芳

室温熔盐镀铝—氧化法制备铝化物阻氘层技术研究    张桂凯

光纤声光光开关技术研究    吴中超

SiO_2纳米颗粒在光学器件上的应用    许坚

硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究    黄国俊

空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究    万文博

光学薄膜微结构制造方法研究    许晓慧

PECVD制备DLC薄膜的表面形貌和光学特性研究    潘德芳

修正板改善薄膜厚度均匀性的研究    卢晨盈

超声喷雾热解法ZnO薄膜的制备及其性能研究    钟爱华

热光可调非晶硅薄膜滤波器结构及薄膜光学特性研究    陈伟

生长速率对反应蒸发制备ITO薄膜光电性能的影响    李林娜;孙建;薛俊明;李养贤;赵颖;耿新华;

ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其特性分析    徐艺滨;杜国同;刘维峰;杨天鹏;王新胜;

阳极修饰层ZnPc对OLED性能影响的研究    李方馨;孟庆蕾;席曦;钱维莹;阙立志;王振交;季静佳;丁玉强;顾晓峰;李果华;

膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响    袁玉珍;王辉;张化福;刘汉法;刘云燕;

退火温度对ITO薄膜微结构和光电特性的影响    江锡顺;万东升;宋学萍;孙兆奇;

薄膜厚度对ZnO:Y薄膜结构及光电特性影响    杨田林;宋淑梅;辛艳青;李延辉;杜桂强;韩圣浩;

AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用    陈光羽;何延如;雷志芳;谷士斌;赵冠超;杨荣;孟原;郭铁;李立伟;

氮流量对ZnO:N薄膜微结构及光学性能影响    朱华;况慧芸;冯晓炜;万文琼;

有机太阳能电池内部串并联电阻对器件光伏性能的影响    顾锦华;钟志有;何翔;孙奉娄;陈首部;

衬底温度对射频溅射沉积ZAO透明导电薄膜性能的影响    孙奉娄;惠述伟;

不同分子量MEH-PPV光伏特性比较    康博南,王立铎,邱勇

基于包络线法的薄膜光学常数分析    夏志林,薛亦渝,赵利,张幼陵

溶胶-凝胶ZrO_2-TiO_2高折射率光学膜层的抗激光损伤性能研究    梁丽萍;张磊;盛永刚;徐耀;吴东;孙予罕;蒋晓东;魏晓峰;

触针法测量表面粗糙度的发展及现状    唐文彦,张军,李慧鹏

真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响    顾锦华;钟志有;何翔;孙奉娄;

沉积温度影响有机太阳能电池阳极薄膜结晶性能    钟志有;顾锦华;何翔;孙奉娄;

类金刚石薄膜的紫外可见区光学特性研究    梁海锋;原飞;

铌酸锂单晶的太赫兹光谱及光学常数之间的关系    毛宗良;侯碧辉;

离子束辅助沉积TiO_2薄膜近红外光学特性分析    潘永强;施洋;

AlGaN外延薄膜材料的椭圆偏振光谱研究    李秋俊;冯世娟;刘毅;赵红;赵文伯;

Ga_xIn_(1-x)As_ySb_(1-y)材料的光学常数    梁帮立,夏冠群,范叔平,郑燕兰

薄金属膜光学常数的椭偏法测定    薛建华,韩丹,杨秀文,魏江南

专利信息    

(Pb,Ca)TiO_3铁电薄膜光学性质的研究    李辉遒,唐新桂,刘毅,唐振方,张曰理,莫党

椭偏光度法研究溶胶-凝胶SiO_2薄膜的光学性能    肖轶群;沈军;周斌;吴广明;徐超;薛辉;

Mo-Al_2O_3金属陶瓷颗粒膜的光学常数研究    周珑;王天民;杜心康;陈步亮;茹宁;王聪;

用透射率测试曲线确定几种红外薄膜材料的光学常数和厚度    乔明霞;黄伟;张彬;

磁控反应溅射Ge_xC_(1-x)薄膜的光学性能    刘正堂;宋建全;朱景芝;耿东生;郑修鳞;

用CCD测量漫反射率确定组织光学常数的方法研究    孙萍;杨润秋;谢风华;丁嘉琪;张付强;

氧化膜光学常数的椭圆偏振测试研究    林斯勤;赖新春;吕学超;张永彬;张厚亮;黄文莉;

Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量    张大明;李德辉;于硕;张希珍;王菲;鄂书林;

柔性基底上直接制备石墨烯透明导电薄膜的研究    王杰;梁明会;邱腾飞;方岩;罗彬;王斌;张锦;智林杰;

电磁波在损耗媒质界面反射折射基本规律的理论研究    陈将伟;张豹山;唐东明;杨燚;鹿牧;陆怀先;

不同指向性不同波束寬多波束微波透鏡天線之設計    張道治;連煥成;

光纤传感式材料折射仪    秦书乐;杨易;

硝基苯胺同质异构体的THz时域光谱    郭澜涛;王晓红;胡颖;

科学家构建出零折射率“超材料”    记者 刘霞

日证明水具有普克尔斯效应    葛进

树脂镜片八成不合格    本报记者 薜庆元

宝石的检测方法    王勤

日研制出阻止光反射新元件 可大幅减少光通信中的信号丢失    记者　陈超

水晶与仿冒品的区别    郑南

肖特在中国采用高精度光学性能测量技术    周晨

新型成像技术让人类看清活细胞内任何活动    卞晨光

体积小“面子”大    

微波技术在炼钢领域的应用    道尔吉

新型无铟透明导电薄膜的设计研制及其应用    宋春燕

金属薄膜厚度和光学常数测量及对称金属包覆波导振荡场传感器的研究    顾江华

新型SnO_2基透明导电薄膜及其二极管的研究    黄延伟

有机—无机杂化透明导电薄膜的制备及性能研究    韦莉

硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究    王海燕

氢化纳米硅薄膜的光学常数和室温可见发光研究    陈红

Al掺杂ZnO透明导电薄膜的液相法制备及其光电性能研究    赵金博

基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究    张歆东

柔性基ZnO：Al透明导电薄膜材料的制备与性能研究    王晓晶

集成8通道聚合物分散液晶可变光衰减器阵列关键技术的研究    仲志成

ZnO@SnO_2包覆结构透明导电薄膜的制备及其发光性能研究    韩林兵

磁控溅射制备ZnO透明导电薄膜的研究    蒋志昂

石墨烯的液相制备及其透明导电薄膜的研究    谢存存

ZAO透明导电薄膜的制备与性能    龙涛

溶胶—凝胶法制备ZnO:Sn(TZO)透明导电薄膜及其性能研究    孙惠娜

溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究    葛春桥

氧化锌掺钇透明导电膜的制备及特性研究    辛艳青

ZnO：Al透明导电薄膜的制备及性能研究    于平坤

ZnO：Al薄膜的制备与特性研究    徐艺滨

Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与光电性能研究    周科