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应用于太阳能电池的AZO透明导电薄膜光学性质研究

来源:论文学术网
时间:2024-08-18 15:53:20
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应用于太阳能电池的AZO透明导电薄膜光学性质研究【摘要】:以铝掺杂氧化锌陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,利用全光谱拟合法计

【摘要】:以铝掺杂氧化锌陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,利用全光谱拟合法计算了AZO薄膜的光学常数和厚度,研究了厚度对AZO薄膜光学性质的影响.结果表明:拟合光谱曲线与实测光谱曲线一致,薄膜的光学性能与厚度密切相关,AZO薄膜折射率表现为正常的色散特性.另外还采用包络法计算了AZO薄膜的折射率和厚度,两种方法所得结果基本相符. 【作者单位】: 中南民族大学电子信息工程学院;
【关键词】掺铝氧化锌 透明导电薄膜 光学常数
【基金】:湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418) 中南民族大学研究生创新基金资助项目(chxxyz120023) 中南民族大学学术团队基金资助项目(XTZ09003)
【分类号】:TB383.2
【正文快照】: 太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射实现光电转换的半导体器件,它是新一代的清洁可再生能源,随着全球能源危机的突显和人类环保意识的普及,它已成为该领域研究的热点之一.太阳能电池的典型结构为透明导电阳极/光敏层/金属阴极,通常情况下人们普遍使用铟锡氧化物(ITO)透明导电玻

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Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与光电性能研究    周科

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