光伏型锑化铟多元红外探测器

【摘要】：本文简要介绍用箱法扩散成结,蒸发SiO_2钝化表面和金属化层作欧姆接触,热压焊等类似Si集成电路工艺研制的InSb多元红外探测器的情况,获得了高阻抗、无串扰的线列器件。并就工艺对串扰和均匀性的影响进行讨论。 【作者单位】：
【关键词】： 多元探测器 光电探测器 锑化铟 箱法扩散
【正文快照】： 一、前 ~‘人一 曰 国外在制造光伏型锑化锢(Pv一Insb)单元和多元红外探测器的工艺已基本成熟,器件性能已接近背景限。典型参数:零偏压电阻R。(d v/dl}。~0)、lK一looMO;电压响应率R,、IO5v/w;厌、sxlo’。cmHz,叮w。国内研制的单元器件,D’值还比较高,但R。和R,比较低,工艺

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

激光辐照引起的材料温度场和热应力场的瞬态分布    王刚;徐强;刘洋;王虎;梁晓东;李艳;陈志学;

基于电光调制的毫米波辐射计研究    张跃东;江月松;何云涛;邓士光;

连续半导体激光器单条阵列老化筛选系统    任永学;邓海丽;程义涛;王晓燕;

电光调制系统设计实验的方法    张莉;

一种激光脉冲相关检测的改进方法    韦卫东;孙晓泉;孙晓军;

基于长周期光纤光栅线性边缘滤波的地震波解调系统    周锐;乔学光;王若晖;高宏;杨扬;张敬花;

基于PSpice的OCT光电探测系统设计    蔡里禹;高应俊;龙炳昌;何永健;

光电平台自动跟踪控制技术    毕永利;刘琳;黄显林;史丽萍;

二级轻气炮遮挡式激光光幕测速系统    邓云飞;张伟;贾斌;庞宝君;曹宗胜;

激光器线宽虚拟测试系统    肖华菊;王翔;张洁;

一种新型650nm的光电探测器    林聚承;袁祥辉;

高速InP/InGaAs雪崩光电二极管    曾庆明;李献杰;蒲云章;乔树允;

有机半导体器件的真空镀膜技术    冯煜东;张福甲;

a-SiC光电导探测器光谱响应特性    罗佳慧;姜节俭;

一种提高光电探测系统测量上限的方法    胡孟春;叶文英;唐正元;杨洪琼;

宽光谱范围高响应度的InGaAs/InP光电探测器    归强;裴为华;陈弘达;

基于2．5Gbit/s应用长波长雪崩光电二极管    曹均凯;王国栋;李小兵;李连城;张伟;

氧锌镁基太阳盲光电探测器    单崇新;王立昆;张吉英;申德振;范希武;

高速光电探测器带宽测试技术研究    费丰;王宁;刘涛;

基于光外差法的高速光电探测器带宽测量技术    朱兴邦;费丰;赵耀;

Foveon X3：硅芯留住精彩瞬间    吕一河

新钢激光测量技术取得新进展    严小斌 陈国全

全球领先的欧洲印刷电子    孟丹 编译

“光脑”渐近    本报记者 刘洪宇

新型半导体器件可在纳米水平生成离子层    记者　 杜华斌

大型红外产业基地投产    马波

砷化镓集成电路应用前景展望    青山

数据传输速率将达到50Gbps    寒霜

光电火灾探测器发射管、接收管的选取    上海 陈飞

英特尔硅光电子研究实现突破    本报记者 汤铭

双波段组合激光辐照光电探测器的研究    李莉

高速光电探测器频率响应特性测试研究    李建威

PTCDA/p-Si光电探测器的研制与性能研究    李霞

Ge/Si异质结及其光电探测器特性研究    魏莹

全差分光电集成接收机的研究与标准CMOS工艺实现    余长亮

4H-SiC基紫外探测器减反射膜的设计、制备及应用    张峰

Si基SiGe、Ge弛豫衬底生长及其Ge光电探测器研制    周志文

有机半导体光电器件研究    蔡婉珠

宽禁带半导体器件的研制及其测量技术    郭俊福

光电系统的强激光破坏及防护技术研究    牛燕雄

基于黑硅/多孔硅PIN光电探测器的仿真研究    黄璐

波长1.3μm高速光电探测器研究    陶启林

高速InGaAs PIN光电探测器研究    刘家洲

RoF系统中光外差法和光电探测器的研究    陈璐

Si、InGaAs/InP MsM光电探测器的研制    黄屏

高性能谐振腔增强型光探测器及具有波长解复用功能的光探测器阵列的研究    付鹏

一种二维位置灵敏光电探测器的研制    贾茹

基于光电探测器的微波光子变频技术研究    孙丹丹

强激光与PIN探测器作用表面形貌及损伤研究    兰维永

CMOS兼容光电探测器及接收机模拟研究与设计    陈永权