Si衬底上的HgCdTe光伏探测器

【摘要】：利用CdTe和GaAs中间外延层,首次在Si衬底上制作了HgCdTe红外光伏探测器。在热循环之后未观测到这些器件(截止波长为5.5μm,在80K时R_0A高达200Ωcm~2)有裂缝或衰变。次级离子质谱测定法和俄歇数据证明:CdTe缓冲层使中间GaAs外延层中Ga的扩散,不致在高达500℃的生长温度下无意中使p-HgCdTe转变为n型。 【关键词】： 碲镉汞 光伏探测器 硅衬底
【正文快照】： 目前单晶CdTe是HgCdTe红外光电探测器的标准衬底,但是,应用于HgCdT“探测器阵列,由于CdTe衬底的质量及面积小、成本高和脆性,使其应用受到限制。有的文章[l]论证了在si上利用C dTe和GaAs中间缓冲层外延生长HgCdTe。本文描述在粗糙的低成本si衬底上,首次制作的H gCdTe探测器。

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

Si衬底上的HgCdTe光伏探测器    龚谈民;

1-3μm硼注入碲镉汞光伏器件的C-V禾G-V特性研究    赵军，方家熊

碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究    乔辉;周文洪;叶振华;李向阳;龚海梅;

碲镉汞表面纯化膜界面电学特性研究    张新昌,王戎兴

8～14微米碲镉汞红外探测器(综述)    红波;

GHz量级宽带碲镉汞探测器    李永珍

大面积光伏碲镉汞四象限探测器的设计考虑    庄继胜

用红外反射光谱研究离子束作用后碲镉汞的表面形貌    陆慧庆,胡晓宁,方家熊

HgCdTe注入过程温度特性研究    刘心田，沈新华，刘志衡，刘兴海，诸君浩，方侠海

相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜    王金义,常米,陈万熙,周立庆,朱建慧,吴人齐

HgCdTe环孔p-n结光伏探测器暗电流机制    李欣;王淑芬;毛京湘;赵晋云;

12.5μm长线列碲镉汞焦平面杜瓦组件    夏王;王小坤;林春;曹妩媚;孙闻;郝振怡;李言谨;丁瑞军;

P型碲镉汞(HgCdTe)中的电流机理    黄河;

用于主被动成像的碲镉汞雪崩光电二极管探测器的技术进展    陈定国;

Hg在As激活退火中的作用    吴俊;魏青竹;巫艳;陈路;于梅芳;乔怡敏;何力;

碲镉汞光伏探测器基座的低温形变分析    廖清君;张勤耀;许妙根;胡晓宁;

改变背景辐射研究碲镉汞中波光导探测器低频噪声    任仁;乔辉;刘大福;孔令才;张燕;李向阳;

碲镉汞长波光导红外探测器的侧面钝化研究    徐勤飞;唐恒敬;龚海梅;

红外光伏探测器的1/f噪声谱测试    梁晋穗;黄杨程;李言谨;胡晓宁;

HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究    储开慧;乔辉;汤英文;陈江峰;胡亚春;贾嘉;李向阳;龚海梅;

新型量子点红外探测器灵敏度提高两倍    王小龙

碲镉汞红外探测器光电响应特性的机理研究    王俊

量子阱红外探测器高偏压下特性的研究    董珊

PbTe光伏探测器的研制    魏晓东

碲镉汞环孔P-N结理论分析与测试    邢素霞

激光辐照碲镉汞光电探测器实验研究    李修乾

不同波长脉冲激光与半导体材料HgCdTe和Si相互作用研究    戚树明

氧化钒光伏特性及其应用研究    卢小铃

红外阵列探测器及边缘检测的研究    姜啸宇