InSb光伏多元红外探测器的电极制备

【摘要】：对于半导体器件来说,金属电极的制备工艺是必不可少的。而组件较之单元尤为重要。其电极质量的优劣,直接关系到器件性能是否能充分发挥。然而,电极质量的优劣,又是与电极材料的选择和电极的制备工艺密切相关。本文主要论述了InSb光伏多元红外探测器件的电极材料选择和电极制备工艺。 【作者单位】： 昆明物理研究所
【关键词】： 电极材料 材料选择 密切相关 真空室 加热温度 抗氧化 加热源 洁净度 溅射 导电性能
【正文快照】： 二、电极材料的选择 7)便于引线的键合(超声或热压)。 表1给出了部分常作为电极材料的金属特性。 对于一般的半导体,当不考虑其表面态的影响时,金属一半导体接触时所形成的势垒高度完全取决于所选用的金属和半导体材料,即中.:二中,。一中:,其中中.为所用金属的功函数,中。为

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