电子工业用三氟甲烷中杂质含量色谱分析

【摘要】：本文采用双通道气相色谱技术和脉冲氦离子化检测器相结合,完成了电子工业用三氟甲烷气体中微量永久性气体杂质及氟碳化合物杂质含量的测定。两路分析通道采取并联的形式,每个通道有一根预柱及一根分析柱,在分析通道出口通过一个六通阀与PDHID检测器连接,切换六通阀可以控制每路通道中杂质组分进入检测器的顺序。结果表明该方法具有重复性好,检测限低,分析时间短,操作方便等特点。 【作者单位】：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建) 西南化工研究设计院
【关键词】：气相色谱仪 电子气体 三氟甲烷 氦离子色谱法
【分类号】：O657.7;TQ222.213
【正文快照】： 1引言高纯度三氟甲烷主要用于电子工业,在等离子体工艺中,它主要作为氧化膜和磷硅玻璃的蚀刻气体,也可以用于离子束蚀刻工艺[1]。目前国内主要生产工艺为三氯甲烷和氟化氢以液相催化法制得的二氟一氯甲烷中副产品三氟甲烷,经提纯制得高纯三氟甲烷产品。随着电子工业的飞速发展

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