化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断

【摘要】：正 一、引言 金刚石薄膜以其优异的特性越来越受到人们的重视。人们已用各种方法制备出金刚石薄膜、并详细研究了膜质量、膜的形貌与各种宏观参量的关系。在这里,含碳物源相对于氢气的浓度比对金刚石膜的结构和形貌的影响是相当严重的。从许多报道中可知,当 【作者单位】： 中国科学院武汉物理所 中国科学技术大学 中国科学技术大学 中国科学技术大学 中国科学技术大学
【关键词】： 金刚石薄膜 等离子体参数诊断
【正文快照】： 一、引言 金刚石薄膜以其优异的特性越来越受到人们的重视。人们已用各种方法制备出金刚石薄膜、并详细研究了膜质量、膜的形貌与各种宏观参量的关系。在这里,含碳物源相对于氢气的浓度比对金刚石膜的结构和形貌的影响是相当严重的‘”。从许多报道中‘2,“,‘,可知,当CH‘/H

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