分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜

【摘要】：采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷．使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20％．用此法制得的金刚石晶形较好．实验表明：反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大． 【作者单位】： 中国科学院金属研究所 中国科学院金属研究所 中国科学院金属研究所
【关键词】： 热丝法 分离 电阻 晶形 生长区
【基金】：国家自然科学基金!59392800 辽宁省科学技术委员会资助 中科院金属腐蚀与防护国家重点实验室资助
【分类号】：TB43
【正文快照】： 用热丝法制备金刚石，通常采取氢气和碳源气体在同一管路通到热丝上方的设计．其缺点是钨丝碳化，加剧钨丝变形，导致钨丝寿命严重下降”’．C．1．Chll等人曾将氢气和甲烷／乙炔分别送入反应室内，氢气管在热丝上方，而甲烷／乙炔混合气体通入热丝下方，与基材平行t“．并利

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