优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展

【摘要】：纳米晶硅薄膜是集晶体硅材料和氢化非晶硅薄膜优点于一体,可望广泛应用于薄膜太阳能电池、光存储器、发光二极管和薄膜晶体管等光电器件的一种新型功能材料.本文综述低温制备优质纳米晶硅薄膜技术的研究进展及其在薄膜硅太阳能电池上的应用. 【作者单位】： 韩山师范学院物理与电子工程系;汕头大学物理系;
【关键词】： 纳米晶硅薄膜 太阳能电池 低温制备 进展
【基金】：韩山师范学院青年科研基金资助项目(0503)
【分类号】：TB383.1
【正文快照】： 纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜就是硅的纳米晶粒镶嵌在a-Si:H网络里的一种硅纳米结构.由于它具有较高的电导率(10-3~10-1Ω-1·cm-1)、宽带隙、高光敏性、高光吸收系数等优良的光电特性而引起学术界的重视.纳米晶硅薄膜同时具备宽带隙和高电导这两种太阳能电池窗口材料所需的优良性质

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