太阳能PECVD 石墨舟异常情况处理和日常维护等

【专家解说】：1，批次与批次之间不满舟如何？不满舟会有什么结果？ 上一批不满一舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。 不满舟进行工艺，没有硅片的舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下降，会产生红片，色差片等。 2，一区二区流程卡如何对接，数量如何确认？ 刻蚀通过传送箱流入的合格品，当场清点数量即可。 3，石墨舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期？预处理的方式有几种不同？预处理不合格返工片多如何处理？ 石墨舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗 预处理方式预处理方式： NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片预处理 AFTETCH PRZ 舟刻蚀后没插硅片预处理 AFTETCH PRZ 舟刻蚀后插硅片预处理 预处理后返工片多，加工艺时间，若还不行，需进行拆洗。 4，刻蚀、清洗、预处理的整个流程？ 当石墨舟运行120-150次： 满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理 不满6次刻蚀-刻蚀-预处理 5，色差片产生的几种原因？ 清洗、刻蚀工序减薄量不稳定 石墨舟物理性质下降（SIN沉积过多） 镀膜时间不同 微波峰值不稳定（设备原因） 6，色斑批片产生的原因？ 硅片表面清洗不干净 扩散间偏磷酸滴漏 清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞 7，检验标准？（色差、色斑片的判定标准） 以QC为准 8，每台机的石墨舟配置标准？小车的配置是怎样的？ 每台机石墨舟标准配置7个，为正常轮转生产，小车配置4个。 9，为什么会出现舟浆分离？ 石墨舟电极放反，SLS浆在炉管中较长时间未出，导致变形，检查要到位，及时观察。 10，镀膜的整个过程。 工艺开始-充氮-进舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-通过高频电源用NH3预清理和检查-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩余NH3、SH4抽走、防止与空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退舟-结束工艺 12，备用舟的管理。 一条线总共20个舟，14个生产，6个备用，备用舟不使用时应保存在相应的石墨舟柜内。 13，PECVD每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。另外要求刻蚀保证的在制品数量是多少。 产量13500，留丝网在制品4000PCS左右，刻蚀流入在制品1800PCS左右。 14，工艺重点参数 膜厚： 100nm 折射率： 2.0 镀膜的好坏，一般情况下是根据膜的颜色来判断的。正常膜面为淡蓝色，当膜偏厚时颜色会发白，偏薄时颜色会发红 因PECVD制程只能通过调节时间来控制膜厚，所以膜面质量的改善很大一部分需要从前站来改善。 绒面偏大时，膜的沉积速率变大，反之变小。 镀膜时间偏长，膜面发白，镀膜时间偏短，膜面发红。 丝网印刷： 1，浆料的管理？ 产线每天只领用一天的用量，由岗位专员根据产线的库存提供领用量给物料员并开单，物料员负责领料交给岗位专员，岗位专员补齐现场本班的用量，然后将下一班的用量放在生产线存放区域，由陈普做账 2，目前使用的有哪几种浆料，分别搅拌时间？ 目前使用的浆料有PV147银浆（第三道），CN-334 462银浆（第一道），也有PV141银浆，但不用。铝浆R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L现不用）如果突然丝网做到来料加工的片子，浆料如何使用？银浆搅拌24小时以上，铝浆搅拌半小时以上，搅拌速度要求。 3，各道印刷重量标准？ 第一道：0.12±0.02g（共18个背电极） 第二道：1.5±0.12g 第三道：0.2±0.02g每瓶2KG，都是搅拌一瓶用一瓶，其中第一道两天使用三瓶半；第二道每个班使用20瓶左右，第三道每天使用3瓶左右。陈普第二天发两次，上午9点一次，下午16：00一次。 4，断栅连栅的区别？ 断栅不超过六根或其中任何一根不超过两毫米都属于A级片和连栅的区别不大。 5，每个烘箱温度？速度，时间。 共有58只托盘，转一圈的时间都在10分钟左右，必须大于8分钟。 第一个烘箱的温度分别为：100℃ 120℃ 140℃ 160℃ 第二个烘箱的温度分别为：140℃ 160℃ 180℃ 200℃ 6，丝网印刷参数调整的允许范围？ 丝网间距： -1200 um~ -1500um 刮刀深度： -1300 um~ -1800um 压力： 66-72N 印刷速度：200-240Sec 7，外加工不需要印刷STP时是如何实现的？封网浆的作用？如何去除封网浆。 将网版上的STP用封网浆堵实，封网浆的作用是封有漏洞的网板，即补网版，在网版干燥后使用，去除封网浆用清水擦拭即可。 8，松油醇的作用？为什么只在第三倒使用？ 松油醇用来擦拭网版，第三道正电极经常断线（断线分两种，一种是网版上有异物，另一种是网版被浆料堵住，有网版经常堵网，所以要使用松油醇，对浆料有很好的溶解作用），所以用来擦拭，第三道停下来超过3分钟必须进行擦拭。松油醇主要是用来擦拭网版的，片子或断栅，以及网版的清洗都是用乙醇。 9，断线、粗点、虚印的产生原因、控制方法、检验标准？ 第二道台面不干净，或网版上有干浆料掉在台面上印刷烘干后引起的铝粉会造成断线，或第三道网板上有脏东西也会有断线，网板张力不够或参数调整会造成粗点，虚印。另外，第二道易干，如果不均易产生颗粒。控制方法：勤擦以面，多注意印刷质量，合理调整参数控制，另外，5-10分钟之间看一次印刷的效果，一次连续看5-10片。 10，压版如何判定？如何避免？ 出现同样的碎片，或每四片有一片有一样的隐裂可以判定为压版。（对印刷后的片子中央及四周轻轻的敲击，看有无异常，因为细小的压版可能要到烧结后才能体现，这样压版的量是非常大的）避免：勤擦台面，多注意上料的片子是否有碎片，台面纸经常更换，保持台面平整。（碎片千万不能掉进正在印刷的浆料中，那是最头疼的事，也是最不容易被发现的） 11，网版使用寿命，领用注意事项？ 第三道A版使用寿命为3万，第一道B版10万，第二道C版5万，领用时注意型号不要领错。（只针对156多晶），刮条与网版寿命同样。 12，报废后如何处理？ 网板报废后要有网板使用寿命单，对网版寿命不到就更换的需经过工艺签字。更换下来的网版（未到报废要求的）如何处理？机器长时间不印刷如何进行预防漏浆操作，印刷模式需要如何更改？ 13，烧结炉的温度？速度，时间。 6个温区：500℃ 520℃ 550℃ 570℃ 800℃ 802℃，根据片子厚度，工艺会做调整，速度为4600MM/MIN。 14，为什么浆料不能混用，会产生什么严重后果？（注意铲刀、刮刀头未清洗干净不能混？） 浆料混用后会严重影响片子的电性能，转换效率，所以浆料不能混用，铲刀，刮刀头每次都必须擦拭干净。 15，要求PECVD到丝网的在制品数量是多少？ 一般在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，一般根据实际情况来看。丝网的产量平均每小时为1200-1380PCS左右，总产量要求每个班13000PCS，生产一个产品的时间为2.7S。 16，丝网印刷工序违规动作： 徒手不可接触任何机器设备 上料盒托住底部 停机后才可以取片 不可徒手随意打开设备，设备在维修时才可以打开 丝网下料，注意一次只可取一片 17，丝网印刷参数调整原则 印刷方式： 1. 不刮桨料交替印刷 2. 不刮桨料每片印刷两次 3. 先印刷后刮桨料 4. 先刮桨料后印刷 网版： 网版间距：网版与印刷平台之间的距离。（以印刷平台为0参考点，平台上方为负方向，网版正常停止时间距Spec: -3000um，印刷时间距Spec: -900~-1300） 网版间距调整原则：在保证质量的前提下，网版间距越小越好，太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和损坏网版。 刮条： 刮条深度： 刮条印刷时使网版面下降的距离。（以网版面为0参考点，网版下方为负方向。网版正常停止时的位置 Spec: 5000um,印刷时的位置为：Spec: -900~-1300um）。 刮条深度和压力（Spec:50~70N）调整原则： 在保证印刷质量的原则下，刮条下降深度与压力越小越好，刮条下降过深或压力太大，易碎片和损坏网版，刮条下降深度不够或压力太小易印刷不良或沾版。 印刷速度：150~300mm/s 刮桨料速度： 450mm/s 丝网印刷时遵循以下原则： 刮条压力&刮条深度与桨料下漏量成反比， 丝网间距&刮条速度与桨料下漏量成正比。 18，各种流程的作用及常见异常 丝网印刷是通过刮条挤压丝网弹性形变后将浆料漏印在需要印刷的材料上的一种印刷方式。 1. 背电极印刷 背电极作用：用于组件时焊接用。 125硅片有2根背电极， 156硅片有3根背电极，其中多晶为分段类型的，而单晶为整条类型的，更换网版时必须校正网版位置，使两侧的背电极距离Si片边缘基本相同. 2. 背电场印刷 作用： 钝化硅本体，提高电池开路电压（在工艺范围之内，背电场越厚越好） 常见异常： A. 铝珠： 如果是因为烧结所致，就调节3、4区温度；但若是铝珠分布在履带顶针四周，可考虑是否为履带过脏，或是顶针磨损所致，此时需要清洗履带，严重时可以考虑更换履带；另外，铝珠的产生也可能是由于二道印刷过厚导致，那么可以在不影响电性能的情况下，减轻二道印刷重量。 B. 铝苞： a. 前道清洗减薄量大，使绒面过大，易产生铝苞。 b. 背电场印刷的太薄，刚换过网版未及时控制好背场印刷重量，易产生铝苞，此时只需控制好印刷参数和印刷重量就可以解决。 c. 网版的小洞破损导致铝苞。看洞的破损情况，如果可以用胶带修补，且试做OK后可正常生产，若修补无效须更换网版. d. 粘板：三个参数同时增大，降低速度 3. 正电极印刷 作用： 收集电流 156硅片副栅线有78根，主栅线有3根 125硅片副栅线有62根，主栅线有2根 注意事项： 正电极需返工的硅片，在擦拭后应该正面对正面叠放。正反面一起叠放时背电场铝桨会粘到正电极上，从而影响转换效率. 常见问题： A：断线：当网版被堵时，桨料无法下漏所至，只需擦拭网版即可 B：虚印：增大压力，刮刀深度，降低丝网间距 C：粗点：加大丝网间距，减小刮刀深度和压力，加大印刷速度。刮刀刚下去粗点，减小刮刀深度。刮刀刚上去粗点，加大丝网间距。 4. 烘干炉 作用：去除桨料中的有机物质。 5. 烧结炉 作用： 让上下电极行成良好的接触，提高转换效率。 炉内气氛是在N2的保护情况下进行烧结的，烧结温度主要是通过影响RS&RSH来提高转换效率的. 常见问题： a. 烧结不透：将主烧结区5、6区温度适当加大3度左右，测试后看电性能，如果没有达到理想的烧结效果可对其进行再优化。 b. 烧穿：根据烧结后的测试数据，降低烧结5、6区温度，然后再进行测试，直到烧结正常。 上海弘竣实业有限公司 QQ112282859