扩散炉废气如何排掉

【专家解说】：扩散炉概述： 扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的“心脏”，因此扩散炉的质量影响到电池片的电性能。现在太阳能厂家流行的的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散，开管扩散的产量比较低，偏磷酸的用量比较大；闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰；软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备，而提出的新概念；软着陆扩散工艺质量完全受控；工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放；更加安环保。 排气腔一端与扩散炉本体内腔连通，另一端与废气管相连通，废气管与排气腔连通的一端与隔热包呈插拔配合，且废气管位于扩散炉内腔的部分上设置有废气孔。隔热包顶端开设的透气孔可收集扩散炉内产生的废气和凝集在隔热包上的废液，并使废气和废液通过排气腔进入废气管后排出扩散炉，废气管上的废气孔能将位于低处的废气和产生于低处的费用通过废气管排出扩散炉，整体提高扩散炉的工作效率。 主要技术指标： 方式、数量：左手操作（或右手操作） 硅片尺寸及管路数：156×156方片、125X125方片、三管系统（或四管） 装片数量： 300-400片/每管 净化台洁净度：100级（10000级厂房） 自动化程度：自动控制温度及工艺过程。 送取片方式：悬臂式推拉舟和软着陆式推拉舟 采用SPIKE/PROFILE热偶自动切换控温 工作温度： 800~1200℃ 温区精度及长度(静态闭管测试)： 800℃＜工作温度＜1200℃： 1080mm /≤±1℃ 400℃≤工作温度≤800℃： 1080mm /≤±2℃ 单点温度稳定性(静态闭管测试)： ≤±1℃/12h（880℃时） 送料装置技术参数： 速度 100~500mm/min 定位精度： ≤±2mm SiC浆承载能力： ≥15Kg 型式： 手工装片，高纯碳化硅浆 加速控制特性： 软启动/停止 外形尺寸范围：(单位mm)（长×宽×高） ~6700×1400×2900 控制系统： 设备采用进口智能控制器,对炉温、阀门进行自动控制,用一台工控机作人机界面管理、储存全部工艺时序。每个炉管有一套独立PLC和触摸屏的控制系统。系统采用双保险设计，PLC加工控机。以PLC为主控单元。保证了工艺的顺利完成。即使工艺过程中工控机突然死机，工艺过程仍可通过PLC的控制安全的执行下去. 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便。 采用目前最先进的进口温控单元，使设备控温更精确。 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。 工艺曲线的自动运行控制功能。 自动运行中可暂停/继续运行功能。 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。 智能升降温斜率控制功能。 PID参数自整定功能。 可存储多组PID参数供系统运行调用功能。 系统故障的检测与报警功能。 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）。 智能悬臂推拉舟控制功能。 工艺气体的程序控制功能（气动阀/质量流量控制器）。 停电后断点继续运行功能。 计算机的工艺运行窗口设有密码，只有工艺人员或相关管理人员才能修改或调出工艺参数,可防止工艺泄密及操作员工误运行工艺。 气路系统： 整台气路系统包括进口质量流量控制器，优质浮子流量计、接头、过滤器、压力表，管道部分采用耐蚀不锈钢管件。源瓶超压自动泄压保护功能，杜绝爆瓶现象的发生。气体流量由进口质量流量计控制，流量的设定在计算机上进行，其设定值和检测值均可在显示器上实时显示。设备整个气路系统均采用进口产品，保证设备运行的稳定性。扩散源的温度可采用国产恒温控制器控制，控温精度≤±0.5℃。 安全保护与报警： 为了保证设备的安全运行和快速诊断设备故障，设备应具有多种安全联锁装置和故障报警功能。 超温保护： 当炉温超过设定值时，屏幕会显示超温，此时超温报警、讯响、通知操作人员及时处理。当同一个测温点得2个仪表读数相差2℃以上时也发出报警。 极限超温报警： 当炉温由于故障超过报警设定值继续升高，达到极限炉温时，超温的加热器会自动断电。。 断偶保护： 当控制热偶或报警热偶，断开或接触不良时，此时会有超温报警或极限超温报警状态发生。通知操作人员及时排除故障。 极限保护： 在导轨的前后限位开关处还加有极限保护开关，一旦限位开关失效，极限开关即可停止电机运转。 手动急停： 自动进出舟过程中，万一出现限位开关和极限开关均失效的紧急情况，可立即按下急停按钮，舟的运行即刻停止，可避免损坏石英器件及工艺片。