关于太阳能电池板生产工艺和设备的一些问题
来源:江南娱乐-意甲尤文图斯亚
时间:2024-08-17 14:39:07
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关于太阳能电池板生产工艺和设备的一些问题【专家解说】:我将尝试尽我所能的一一解答以上各个问题: 1、“扩散炉”顾名思义就是用来扩散的炉子,在晶体硅太阳能电池的生产制造行业中,自然是
【专家解说】:我将尝试尽我所能的一一解答以上各个问题:
1、“扩散炉”顾名思义就是用来扩散的炉子,在晶体硅太阳能电池的生产制造行业中,自然是用于对硅基片的扩散掺杂,制备P-N结结构。至于硅片的热氧化,只不过是扩散掺杂技术工艺的一个中间过程,是为了提高扩散工艺的稳定性和均匀性而设计的。但是一般氧化层厚度极薄,与半导体晶圆工艺制程中的氧化完全不同,因此这里经过热氧化的硅片只是中间的一个状态,一般并不单独作为一个工艺单元。
2、“炉管”即“TUBE”,显然只有管式炉才有炉管只称谓,板式则称为“腔”。除了扩散炉,PECVD也有管式设备,基本上和扩散炉的炉管是同一个概念。
——另外,国产PECVD以管式居多。
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