为什么薄膜太阳能电池金属电极不采用丝网印刷?
来源:江南娱乐-意甲尤文图斯亚
时间:2024-08-17 14:23:09
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为什么薄膜太阳能电池金属电极不采用丝网印刷?【专家解说】:溅射方式工艺上更容易控制厚度,可以很均匀,很薄
溅射工艺 - 以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面,使固体
【专家解说】:溅射方式工艺上更容易控制厚度,可以很均匀,很薄
溅射工艺 - 以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面,使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。
溅射用的轰击粒子通常是带正电荷的惰性气体离子,用得最多的是氩离子。氩电离后,氩离子在电场加速下获得动能轰击靶极。当氩离子能量低于5电子伏时,仅对靶极最外表层产生作用,主要使靶极表面原来吸附的杂质脱附。当氩离子能量达到靶极原子的结合能(约为靶极材料的升华热)时,引起靶极表面的原子迁移,产生表面损伤。轰击粒子的能量超过靶极材料升华热的四倍时,原子被推出晶格位置成为汽相逸出而产生溅射。对于大多数金属,溅射阈能约为10~25电子伏。
溅射产额,即单位入射离子轰击靶极溅出原子的平均数,与入射离子的能量有关。在阈能附近溅射,产额只有10-5~10-4个原子/离子,随着入射离子能量的增加,溅射产额按指数上升。当离子能量为103~104电子伏时,溅射产额达到一个稳定的极大值;能量超过104电子伏时,由于出现明显的离子注入现象而导致溅射产额下降。溅射产额还与靶极材料、原子结合能、晶格结构和晶体取向等有关。一般说来,单金属的溅射产额高于它的合金;在绝缘材料中,非晶体溅射产额最高,单晶其次,复合晶体最低。
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