太阳能电池单晶Si表面织构化的工艺改进

【摘要】：通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的电化学清洗过程和混合溶液的反应温度和反应时间等参数的变化对金字塔绒面微观形貌的影响做了分析。最终通过大量实验得到,用质量分数为4%的Na2SiO3和2%的Na3PO4混合溶液在78℃腐蚀60min,单晶Si片表面可获得最佳反射率为11.98%的减反射绒面。单晶Si片表面的反射率优于单独使用Na2SiO3溶液腐蚀,更重要的是制得了很好的均匀性表面。 【作者单位】： 河北工业大学微电子研究所;
【关键词】： 单晶硅 太阳电池 电化学清洗 绒面 各向异性腐蚀 转换效率
【分类号】：TN305.2;TM914.4
【正文快照】： 0引言可再生能源在社会中的重要性已经越来越明显。在各种各样的可再生能源中,太阳能是取之不尽、没有污染的绿色能源。目前,对于高效单晶Si电池,太阳电池的表面反射率是影响太阳电池光电转换效率的重要因素之一。在太阳电池表面织构化可以有效降低太阳电池的表面反射率,常采

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