微纳甲烷传感技术的研究

【摘要】：针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重介绍了该种甲烷传感器的微加热器及低维甲烷传感方面的研究现状及相应成果,并介绍了一种新型金属-绝缘体-金属结构的金属氧化物半导体甲烷传感器。该种甲烷传感器具有功耗低、体积小等特点,符合矿山物联网的发展需求。 【作者单位】： 中国矿业大学物联网(感知矿山)研究中心;中国矿业大学感知矿山国家地方联合工程实验室;
【关键词】： 甲烷传感器 微纳米技术 微加热器
【基金】：“十二五”国家科技支撑计划资助项目(2012BAH12B01)
【分类号】：TD712
【正文快照】： 0引言瓦斯是煤矿生产中的重大危险源。甲烷是瓦斯气体的主要成分,占90%以上。检测煤矿瓦斯浓度通常指检测甲烷的浓度。甲烷传感器在煤矿瓦斯防治、灾害预警、保障安全生产和事故调查中用于检测煤矿瓦斯浓度,具有重要作用。成熟的甲烷检测方法主要有催化燃烧法、半导体气敏法、

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