太阳能多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层的免烧工艺

【摘要】：本文介绍一种太阳能多晶硅片生产过程中,喷涂坩埚免焙烧的工艺,即在氮化硅浆料中加入少许水溶性有机物(粘结剂、防潮剂、分散剂),通过有机高分子的化学吸附和氮化硅粉的物理吸附作用使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,免去了传统工艺中喷涂坩埚在坩埚烧结炉中焙烧21h,焙烧温度为1050℃的工艺。与传统工艺相比,此工艺缩短硅片生产周期,提高生产效率,降低生产成本。 【作者单位】： 江西科技学院土木工程学院;
【关键词】： 免焙烧 氮化硅浆料 水溶性有机物
【分类号】：TG232.5
【正文快照】： 0引言多晶硅铸锭制备过程中,高纯石英坩埚是其必备的容器,因其纯度高而能够制备出优质的多晶硅锭。多晶硅锭生产过程中,硅料在坩埚内熔化、晶体生长、退火冷却,单一使用高纯石英坩埚将面临以下危害:①使用寿命短、安全性差:硅熔体和石英坩埚长时间接触时,会产生黏滞性,Si与SiO

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