一台大型、清洁的超高真空空间环模试验设备

【摘要】：正 本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔φ1.2米×L5.6米,光路管道φ0.4米×L64米。采用现代的组合抽气手段获得清洁真空。其中:主泵为溅射离子泵,冷阱式升华钛泵作为辅助泵,预抽系统采用机械泵+吸附阱+涡轮分子泵机组。整台设备不烘烤。获得极限真空度P=3.6×10~(-8)托,工作真空度,P=4.3×10~(-7)托,残气中碳氢化合物含量占万分之几,设备振动,(包括地基振动)1微米。 【关键词】： 溅射离子泵 试验设备 空间环模 超高真空 涡轮分子泵 管道 工作真空度 机械泵 极限真空 地基振动
【正文快照】： 本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔们.2米又L5.6米,光路管道功0.4米XL64米。采用现代的组合抽气手段获得清洁真空。其中:主泵为溅射离子泵,冷阱式升华钦泵作为辅助泵,预抽系统采用机械泵+吸附阱+涡轮分子泵机组。整台设备不烘烤。

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