欧姆龙NJ控制器在太阳能线切割机中的应用

【摘要】：针对线切割机的控制技术要求,提出了采用欧姆龙NJ控制器和EtherCAT网络型伺服组成的控制系统,有效地减少了张力的波动,提高了系统的可靠性和实时性。摘要: 【作者单位】： 欧姆龙自动化(中国)有限公司PAE中心;
【关键词】： NJ控制器 多线切割 太阳能线切割机
【分类号】：TG48
【正文快照】： 一引言多线切割技术(MWS:Multi-Wire-Slicen)是进行脆硬材料(如硅锭等)切割的一种创新性工艺。它是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。基于高精度高速低耗切割控制关键技术

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