激光在清洁领域的应用

【摘要】：文章介绍了激光在清洁领域中的运用,阐述了激光清洁技术的机理、使用方法以及使用该项技术时应注意的问题。 【作者单位】：
【关键词】： 激光清洁 微粒 基体
【分类号】：TN249
【正文快照】： 随着科技的不断发展,类似微电子器件等,其密度越来越高、尺寸越来越小,但随之而来的污染控制问题则越来越成为最关键的问题之一。像集成电路硅基片的加工和光刻技术、微组装技术等关键技术要求相当严格。在此高精度的要求下,器件的清洁要求也非常严格,即使采用传统清洁法中精

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