乙二胺在单晶硅太阳能电池表面制绒中的应用

【摘要】：利用乙二胺(Ethylenediamine anhydrous,EDA)/异丙醇(Isopropyl alcohol,IPA)体系对单晶硅(100)面进行了各向异性腐蚀,研究了不同温度、不同反应时间条件下单晶硅表面的绒面结构和表面反射率。利用EDA/IPA体系得到的金字塔结构尺寸为8μm左右,但均匀性较差。在1.5%EDA、5%IPA体系中添加5%Na2SiO3,80℃反应15min后获得了平均反射率为11%、表面金字塔结构均匀且尺寸较小的单晶硅绒面。实验结果表明,Na2SiO3的引入使金字塔的尺寸从8μm左右降低至3μm左右,并且均匀度也得到改善。 【作者单位】： 暨南大学电子工程系;
【关键词】： 硅制绒 乙二胺 各向异性腐蚀 太阳能电池
【基金】：国家自然科学基金(21171072) 广东省自然科学基金(9151063201000018)
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 0引言能源紧张、资源匮乏是当今世界面临的最大难题之一。未来能源的争夺将无可避免,因而世界各国都利用自身优势发展可再生的能源。光伏能源作为可再生能源之一,在其中所占的比例正在不断增加。而光伏产业中尤以传统的硅电池产业工艺最为成熟。硅电池制绒是提高太阳能电池效

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