AlN薄膜对太阳能吸收率的研究

【摘要】：采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜。借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性。结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好;W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80%以上。 【作者单位】： 大连理工大学三束材料改性实验室材料科学与工程学院;兰州物理所表面工程国家重点实验室;
【关键词】： 磁控溅射 物理气相沉积 AlN薄膜 选择性吸收膜
【基金】：表面工程技术国家级重点实验室基金项目(9140C540105080C5402)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言地球大气上层的太阳辐射光谱的波长基本都在0.15～4.0μm之间。在这段波长范围内,又可分为3个主要区域,即波长较短的紫外光区、波长较长的红外光区和介于二者之间的可见光区。太阳辐射能量主要分布在可见光区和红外光区,其中约50%的太阳辐射能量在可见光谱区(波长0.4～0.

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