基底对TiN_xO_y太阳能选择性吸收薄膜性能的影响

【摘要】：采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AlN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因。采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响。结果表明:薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率。 【作者单位】： 江苏大学微纳米研究中心;江苏技术师范学院机械与汽车学院;常州大学低维材料微纳器件与系统中心;
【关键词】： TiNxOy薄膜 太阳能 光谱性能 粘附性 基底多孔结构
【基金】：江苏省太阳能电池材料与技术重点实验室开放课题(201103) 江苏技术师范学院科研基金项目(KYY10058)
【分类号】：TG174.44
【正文快照】： 当今,全球能源形势紧张,环境污染严重,经济的发展以及人类的健康问题倍受关注,寻求清洁新能源势在必行。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的清洁能源,开发及综合利用太阳能的研究已是社会当前和长远发展的需要,也是众多科技工作者深感兴趣的重大研究课题[1]。在对太阳能的利用

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