刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用

【摘要】：介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比,从设备结构,工艺原理,试验测试等方面做了深入的分析,并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小,能够提高电池片的转换效率的优点,同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果,对提升电池片效率的贡献。 【作者单位】： 中国电子科技科技集团公司第四十八研究所;国家光伏装备技术工程研究中心;湖南红太阳光电科技有限公司;
【关键词】： 激光刻蚀 等离子体刻蚀 太阳能 硅片电池
【分类号】：TM914.41
【正文快照】： 26Aug.2013(总第222期)在晶体硅太阳能电池的制备过程中,边缘刻蚀作为生产工艺的重要一环,其质量的好坏直接影响着太阳能电池片质量的好坏。当前,电池片的刻蚀主要采用的工艺有:等离子体刻蚀、化学腐蚀刻蚀和利用激光划线刻蚀。这3种工艺中,激光划线刻蚀具有电池片合格率高、

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