薄膜太阳能电池的激光刻线技术及工艺研究

【摘要】：为提高薄膜太阳能电池的转换效率,采用1064nm与532nm纳秒激光器及515nm皮秒激光器对a-Si和CIGS薄膜太阳能电池的刻线工艺进行了实验研究,获得了不同激光参数下的刻线效果。并结合当前市场情况与工艺水平,提出了今后薄膜太阳能电池激光刻线的发展方向。 【作者单位】： 通快中国有限公司;上海市激光技术研究所;上海市激光束精细加工重点实验室;
【关键词】： 薄膜太阳能电池 激光刻线 a-Si CIGs
【基金】：上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金项目(项目编号:09-110) 上海市科学技术委员会研发基地协作能力建设专项(项目编号:09dz2201600)
【分类号】：TM914.42
【正文快照】： 0引言 太阳能是未来代替化石能源的主要清洁可再生新能源之一。薄膜太阳能电池作为目前非常有前景的一种相对较成熟的太阳能电池,具有原料节省、成本低、弱光吸收性好、可制作大面积电池片等优势[1,2〕。薄膜太阳能电池主要有非晶硅(a一Si)、铜锢稼硒(CIGS)、蹄化福(CdTe)以及

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