非晶硅薄膜太阳能电池的紫外激光制绒工艺

【摘要】：为了提高非晶硅薄膜电池的转换效率和稳定性,采用纳秒紫外激光进行透明导电薄膜制绒,改变激光工艺参数,研究激光功率密度、重复频率、刻蚀速度和填充间距对透明导电薄膜电学、光学和晶体结构特性的影响;并根据不同制绒方式制备电池,比较其输出性能。实验结果证明:当激光功率密度P=0.85×105 W/cm2,刻蚀速度v=600mm/s,重复频率f=50kHz,填充间距Δd=0.012mm时,获得薄膜方块电阻较小,陷光效果良好的绒面结构,有效地增强了电池吸收率,提高了电池的转换效率。 【作者单位】： 华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室;广东工业大学物理与光电工程学院;华南理工大学机械与汽车工程学院;深圳市大族激光科技股份有限公司;
【关键词】： 光电子学 激光制绒 陷光效应 方块电阻 总透射率 绒度
【基金】：国家863计划(2012AA040210) 中央财政支持地方高校专项资金项目激光先进制造创新培养基地(510-C10293) 粤港关键技术招标东莞专项(20092052060010) 广东省教育部产学研结合重点项目(2010A090200048) 广东省教育厅学科建设专项(C10360) 华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心开放基金(2011006)
【分类号】：TM914.42
【正文快照】： 1引言大量的理论和实验研究证明薄膜表面形貌对电池内形成有效的陷光结构非常重要[1],一种有效的绒面结构能够提高电池内部粗糙界面的反射,形成陷光效应,从而提高电池的吸收率[2-4]。目前常用的薄膜制绒方式是利用磁控溅射,然后经过湿化学刻蚀制备。Kluth等[5]报道经质量分数(

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