芯片凸点电镀中的清洁生产技术

【摘要】：清洁生产技术越来越受到重视,我国已经将推进清洁生产提到法律的高度。通过在芯片凸点电镀过程中优选电镀液配方及施镀方式,采用等离子清洗技术,优化阴极夹具,改善镀层厚度均匀性等措施,达到提高资源利用率,减少污染物的产生,减轻对人和环境危害的目的。 【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十四研究所;
【关键词】： 芯片 凸点 电镀 清洁生产
【分类号】：TN405
【正文快照】： 1引言2002年6月29日,第九届全国人大常委会第二十八次会议讨论通过了《中华人民共和国清洁生产促进法》,明确了清洁生产是指采取改进设计、使用清洁的能源和材料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施,从源头削减污染,提高资源利用率,减少或避免生产、服务和

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