浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定

【摘要】：对于代表目前集成电路制造最高水平的12英寸生产线,其清洁生产指标的确定往往由于所处行业的高速发展,目前尚处于一个积累经验和探索发展的阶段而成为一个难点。本文拟笔者在对该类项目设计和环评实际工作的基础上,以一个在建的典型的12英寸生产线为案例,通过制作全厂水量平衡图,分析其用水特点与节水措施,就如何确定清洁生产指标进行了探讨。 【作者单位】： 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司;
【关键词】： 集成电路 芯片 清洁生产 节水
【分类号】：F426.6
【正文快照】： DOI:10.3969/j.issn.1671-6396.2011.10.0011前言现代社会已进入以微电子技术为核心的信息时代,信息产业已成为现代经济的重要支柱产业。微电子技术与微电子工业是信息产业的核心与基础,集成电路产业作为微电子技术与微电子工业的代表体现了一个国家科技水平、工业水平和综合

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