太阳能级单晶炉热场的适应性改造研究

【摘要】：在JRDL-900型太阳能级单晶炉上安装自行设计的350 mm(14英寸)密闭式热场,替换原有的500 mm(20英寸)热场,使该单晶炉具备了半导体级75~150 mm(3~6英寸)常用硅单晶的生长条件。根据单晶炉实际情况,重新设定了单晶生长控制程序,实现半导体级硅单晶等径生长自动控制。在拉晶实验过程中,发现并解决了影响单晶生长的设备和技术问题,成功实现了半导体级100 mm(4英寸)硅单晶的生长,对单晶成品的相应参数测试表明,使用该类太阳能级单晶炉,通过炉体和热场的改进,能够实现半导体级产品的生产,可有效利用闲置设备和资源,并为今后该类型的大规模改造和生产奠定了技术基础。 【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十六研究所;
【关键词】： 太阳能级单晶炉 密闭式热场 半导体级硅单晶
【分类号】：TN305;TK519
【正文快照】： 江南体育在线直播观看 行业作为朝阳产业,虽然市场前景广阔,但是在一段时期内,市场需求量是一定的。随着国内产能过剩的日趋严重,以及欧美双反政策的打击,我国的太阳能产业发展受到制约。大量企业的产品积压,设备停转,进入休眠期。同时我国的半导体产业近年来发展快速,随着集成电路和分立

您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容

单晶炉密闭式热场改造研究    谢俊启;韩焕鹏;