洁净室设计和运行的节能

【摘要】：正 洁净室技术是近半个世纪发展起来的一门新兴的综合技术、随着经济的发展它已成为电子、宇航、精密机械、化工、制药、医疗、食品等各个部门及高科技产业发展不可缺少的条件之一。特别是电子工业,近十年来,先进国家电子工业发展非常快,每三年集成电路的集成度就要翻两番。自1978年256K超大规模集成电路问世以来到现在1M、4M、16M甚至64M的随机存储器相继出现,这样的发展速度对洁净技术发展提出了更高更精的要求,不仅控制粒径从0.5μm缩小到0.3μm, 【关键词】： 洁净室 设计和运行 送风量 运行费 换气次数 超大规模集成电路 洁净技术 净空间 洁净室技术 洁净度
【分类号】：TU831
【正文快照】： 洁净室技术是近半个世纪发展起来的一门新兴的综合技术、随着经济的发展它已成为电子、宇航、精密机械、化工、制药、医疗、食品等各个部门及高科技产业发展不可缺少的条件之一特别是电子工业,近十年来,先进国家电子工业发展非常快,每三年集成电路的集成度就要翻两番。自1978

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