适用于半导体工厂的节能空调系统——(FMU方式的评价)

【摘要】：正 一般来讲,一座半导体工厂一年消耗的总电量大约为1亿kWh,其中43％是被空气调节设备的运转消耗掉了。这是由于洁净室的洁净度要求所致。尤其空气输送动力方面消耗电能最多。在本公司全面垂直层流方式的洁净室内,以降低空气输送动力为目标,建造了模块式风机单元(FMU)方式的空调系统,将这一系统引入到最新的半导体制造工厂。引入的空调系统,属于FMU方式的送 【作者单位】： 电子部计算机与微电子发展研究中心
【关键词】： 洁净室 节能空调系统 送风机 空气循环系统 过滤器 空气输送 洁净度要求 半导体 流方式 垂直层
【分类号】：TU831.3
【正文快照】： 一般来讲,一座半导体工厂一年消耗的总电量大约为1亿k研飞,其中43%是被空气调节设备的运转消耗掉了。这是由于洁净室的洁净度要求所致。尤其空气输送动力方面消耗电能最多。在本公司全面垂直层流方式的洁净室内,以降低空气输送动力为目标,建造了模块式风机单元(FMU)方式的空

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