太阳能选择性吸收涂层中铝靶拐点电压的影响因素分析

【摘要】：利用磁控溅射技术制备不锈钢-氮化铝(SS-Al N)太阳选择性吸收涂层的过程中,铝靶拐点电压的选取以及微控对所镀膜层的质量及其重要。本文分别试验了单独开启铝靶时不同溅射压强(0.2Pa、0.3Pa、0.4Pa、0.5Pa)下、单独开启铝靶时不同铝靶电流(30A、35A、40A)下、同时开启不锈钢靶和铝靶时不同不锈钢靶电流(20A、30A、40A)下,铝靶拐点电压的变化。 【作者单位】： 北京天普太阳能工业有限公司;
【关键词】： 太阳能选择性吸收涂层 不锈钢-氮化铝(SS-AlN) 磁控溅射 拐点电压 反应溅射
【分类号】：TB383.2;TK519
【正文快照】： 能源危机是当今社会面临的一个十分严峻的问题,世界各地都致力于开发新能源来替代常规化石燃料能源。太阳能以其清洁性、可再生性等优点正越来越多地被人们所关注。在太阳能的光热利用中,性能优异的太阳能选择性吸收膜层可大大提高太阳能光热设备的效率,延长其寿命[1]。由磁控

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