太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究

【摘要】：太阳能电池片上生长ZnO/Al薄膜电极的研究属于新型透明导电材料领域,具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。以未引入电极的太阳能电池片为基片,清洗后送入磁控溅射反应室,以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20~300nm厚的Al薄膜,然后将基片置于气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH2CH3)2的氩气,沉积得到50~600nm厚的ZnO薄膜,最后在氧气气氛下,于400~600℃对载有ZnO和Al薄膜的基片退火处理,得到ZnO/Al薄膜。制备工艺简单,沉积过程易于控制,透明导电薄膜的均匀性好,光电性能优异,以此作为太阳能电池的背电极,替代传统的铝金属电极,进一步提高了太阳能电池的转化效率。 【作者单位】： 沈阳工程学院新能源学院;
【关键词】： 太阳能电池片 ZnO/Al薄膜电极 磁控溅射
【基金】：教育部重点实验室项目(LABKF1406)
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 0引言随着社会发展和科学技术的突飞猛进,人类对功能材料的需求日益增加,新型功能材料已成为新技术和新兴工业发展的关键。随着太阳能、平板显示和半导体照明等产业的发展,一种新的功能材料——透明导电材料随之产生、发展起来。当光伏产业以连续5年近40%的速度向前发展时,提

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