MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用

【摘要】：介绍了微机械电子系统(MEMS)质量流量计的构造、工作原理、技术特性,探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性能,实流检测及实际应用。膜式表和MEMS质量流量计的实际应用效果对比显示,MEMS质量流量计比膜式表测量相对误差小,始动流量小。 【作者单位】： 重庆凯源石油天然气有限责任公司;矽翔微机电系统(上海)有限公司;
【关键词】： 微机械电子系统 质量流量计 膜式表 实流检测
【分类号】：TH814.6
【正文快照】： 1微机械电子系统(MEMS)简介微机械电子系统(Micro Electro Mechanical Sys-tem)简称MEMS,是采用现代加工工艺和材料生长及合成技术制造的具有机械、电子及其他物理特性的微系统。大多数微机械电子系统是借用了大规模集成电路的主要工艺构筑在硅片上的,因此也称为微机电系统芯

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