常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究

【摘要】：在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。 【作者单位】： 浙江大学材料科学与工程系 硅材料国家重点实验室;
【关键词】： 氮化钛 常压化学气相沉积法 沉积时间 结构 阳光控制性能
【基金】：国家自然科学基金资助项目(50672086)
【分类号】：O484
【正文快照】： 1引言近年来,随着节能意识的提高,镀膜玻璃被广泛地研究并且越来越多的在现代建筑领域中得到应用。阳光控制镀膜玻璃是其中具有代表性的一种,它允许可见光通过窗玻璃,但是反射屏蔽掉产生热效应的红外光区域辐射,从而达到调节室内温度的节能作用。在以往的研究中,阳光控制性能

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