BF工艺在光伏型锑化铟列阵探测器制备中的应用

【摘要】：正 本文报道在制备光伏型InSb列阵探测器时采用BF工艺,使器件的串音率和光敏元边缘效应得到改善的结果。多元列阵器件中的串音现象严重地影响着红外探测系统的灵敏度和红外成象的质量。赵文琴等曾用H~+轰击的方法取得了较好的隔离效果,但实际应用有困难。我们采用BF工艺获得了更为满意的结果。实验证实,BF工艺是解决多元列阵器件串音及单元光敏面 【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所 中国科学院上海技术物理研究所
【关键词】： 常规工艺 列阵探测器 台面 质量 列阵器件 光敏元 工艺制作 锑化铟 串音 红外探测系统
【正文快照】： 本文报道在制备光伏型Insb列阵探测器时采用BF工艺,使器件的串音率和光敏元边缘效应得到改善的结果。 多元列阵器件中的串音现象严重地影响着红外探测系统的灵敏度和红外成象的质量。赵文琴山等曾用H+轰击的方法取得了较好的隔离效果,但实际应用有困难。我们采用BF工艺获得了

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