非晶Si/Ti超晶格的横向光伏效应

【摘要】：本文报道了由磁控溅射沉积的非晶 Si 薄膜与 Ti 膜组成新的一类超晶格的横向光伏效应。实验发现,这种光伏效应强烈地依赖于超晶格子层厚度及所使用的衬底导电类型。通过合理选择参数,可以得到横向光生伏特与光斑位置成很好的线性关系。 【作者单位】： 中国科学院上海硅酸盐研究所 中国科学院上海硅酸盐研究所 中国科学院上海硅酸盐研究所 中国科学院上海硅酸盐研究所
【关键词】： 横向光伏效应 超晶格 非晶硅 非晶钛 薄膜
【基金】：中国科学院科学基金 R-850196 中国科学院上海硅酸盐研究所青年科学基金3006资助
【正文快照】： 引育 .在命研中、妙斜是峰职晶ha体赫与护a--姆试崖1角,:、,J瞬半导站非晶绝缘林如·衍si、川补SIN,;H〔3一6’、a一歇:HZa一siC,:H尸’·、一a:影交H/断剐p二:玛犯所构成的超晶格受到极次重视、达种新型材料,除了具有、些特异的光龟性能外[‘]一,更主要的是这种材料的结构为

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