开管扩锌InP的液结光伏谱和少子扩散长度

【摘要】：用电化学液结方法测量了在４７０℃于氢气氛下开管扩锌ＩｎＰ样品的载流子浓度分布、不同深度的光伏谱和少于扩散长度。结果表明：在扩散区形成浓度为１０１７～１０１８ｃｍ－３较平坦的空穴分布；少于扩散长度由衬底的８～１０μｍ降至表面的０．２９μｍ以下；若轻微腐蚀去严重损伤的样品表层，将较大地提高新表层的少子扩散长度。 【作者单位】： 厦门大学物理系 清华大学电子工程系
【关键词】： 开管锌扩散 InP液结光伏谱 少子扩散长度
【基金】：国家教委留学回国人员研究经费项目,国家自然科学基金
【分类号】：TN405
【正文快照】： 开管扩锌ＩｎＰ的液结光伏谱和少子扩散长度陈朝，王健华ＭａｌｙｓｈｅｖＳ．Ａ．ＡｎｄｒｌｅｖｓｋｉｉＶ．Ｆ．（集成光电子学国家重点联合实验室，清华大学实验区（白俄罗斯科学院电子学研究所，明斯克，２２０８４１）厦门大学物理系，３６１００５清华大学电子工程系

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