六氟乙烷的制备及纯化方法概述

【摘要】：六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。 【作者单位】： 佛山市华特气体有限公司;
【关键词】： 六氟乙烷 制备 纯化 HFCs 含氯化合物
【分类号】：TQ222.23
【正文快照】： 六氟乙烷在半导体与微电子工业中用作等离子蚀刻气体、器件表面清洗剂,还可用于光纤生产与低温制冷。因其具有无毒无臭、高稳定性而被广泛应用在半导体制造过程中,例如作为蚀刻剂(DryEtch)、化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposi-tion)后的清洗气体,在等离子工艺中作为二

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