Hg_(1-x)Cd_xTe光伏探测器的钝化研究

【摘要】：用倒易二维点阵对HgCdTe光伏探测器钝化及其热处理行为进行了研究,发现测射沉积的钝化膜会引起HgCdTe的晶面弯曲,严重的会出现晶面扭曲和mosaic结构,而钝化后的热处理能改善MCT晶体的完整性.在不同的钝化介质层钝化MCT的研究中发现,ZnS钝化层在高温下并不稳定,而CdTe钝化层却能保持较高的耐温性能. 【作者单位】： 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心 中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心
【关键词】： HgCdTe ZnS CdTe 钝化 倒易二维点阵
【基金】：中国科学院知识创新工程资助项目(KGCX2SWJG06)
【分类号】：TN29
【正文快照】： 引言在Hg1-xCdxTe(MCT)光伏探测器工艺中,钝化是比较关键的一步,所以,对钝化前后MCT晶体结晶度的表征就显得十分重要,但是这方面的研究报道甚少[1～4].在MCT薄膜生长工艺过程中,其结晶质量常以X射线衍射摇摆曲线的半峰宽(FWHM)来衡量.对于理想体单晶,其摇摆曲线的半峰宽可以

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