光伏型硅X射线探测器

【摘要】：介绍了垂直多结器件的结构,给出了热迁移制结的工艺条件和结果,特别介绍了处理器件电极引线的隔离线方法,解决了经过热迁移掺杂后光刻电极套不准的难题,以及把所有p型区域连接起来的问题,达到了敏感区金属零遮挡的目的.同时分析了工艺条件对器件性能的影响.通过对敏感区和无效区的计算和对比,对器件的几个电流参数进行了详细的计算;对两种靶材的标识谱在器件内产生的光电子的收集效率做了计算,对器件的光谱响应度也作了计算和分析;同时对器件窗口材料的选择进行了详细讨论;最后叙述对器件进行的实验验证,通过对金属模板上模拟缺陷的测量,证明器件有足够的灵敏度和分辨率. 【作者单位】： 泉州师范学院物理系
【关键词】： 探测器 垂直多结 X射线
【分类号】：TL816.1
【正文快照】： 1引言目前,对大型金属拼焊件焊缝的质量检查,仍旧延用费用较低的拍片法、超声法等方法.虽有高技术设备投入使用,但是价格昂贵,对于大规模工业生产的产品如煤气管道、天然气管道等在线检验、拍片更是困难的事.有鉴于此,为了实现自动化生产,国外早已出现了探头检测式自动化装置

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