KLA-Tencor推出光伏电池检测系统PVI-6

【摘要】：正KLA-Tencor Corp.(Milpitas,Calif.)日前宣布推出太阳能电池检测系统——PVI-6,对光伏硅片和电池进行在线双面光学检测。检测工艺贯穿于整个太阳能电池 【关键词】： 电池检测系统 太阳能电池 光伏 光学检测 检测工艺 硅片 推出 在线 双面 贯穿
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： KLA-Tencor Corp.(Milpitas,Calif.)日前宣布推出太阳能电池检测系统——PVI-6,对光伏硅片和电池进行在线双面光学检测。检测工艺贯穿于整个太阳能电池量产过程,从空白硅片到氮化硅(SiN)涂布、金属镀膜和最终的分类测试,而该设备则用于其中一部分检测。KLA-Tencor表示,PVI-6

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